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        半導體籽晶X射線定向儀

        半導體籽晶X射線定向儀

        • 所屬分類:半導體級硅單晶定向設備

        • 點擊次數:
        • 發布日期:2015/11/10
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        半導體籽晶X射線定向儀

        DX-7型半導體籽晶X射線定向儀

        功能:此型儀器主要用于硅單晶籽晶定向,也可用于其它半導體材料的籽晶定向。

        特點:此儀器為雙側工作臺,右側工作臺用于對擬加工成籽晶的硅單晶錠的端面定向,然后在內圓切割機上切成籽晶條;左側工作臺用于對上述籽晶條進行定向。

        技術參數:

        項目

        參     

        輸入電源

        單相交流220V,50Hz,0.3KW.

        Z大管電壓

        30kV

        管電流

        0-5mA連續可調

        接收器

        蓋革計數器,工作電壓Z高為DC1050V

        X射線管

        銅靶,風扇冷卻,陽極接地。

        測定角度

        2θ=-10~120°,θ=-5~60°。

        綜合精度

        ±30″(用標準石英片10ī1面測量)

        Z小讀數

        1

        被測晶體尺寸

        用于測定直徑為0.5-8英寸,≤30KG的硅單晶(錠)。

        外形尺寸

        1290(長)x772(寬)x1300(高)mm

        儀器重量

        300kg。

         


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